根据标准《SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法》,该标准主要涉及的内容如下:
检测项目:该标准中提到的检测方法主要包括以下几种:
此标准涉及的产品主要是大直径薄硅片,用于集成电路(IC)的制造中。这些硅片被广泛应用于半导体行业,用以保证IC产品的质量和效果。
通过这些检测项目和方法,能够有效地保证产品的纯净度和品质,确保硅片在IC制造过程中的稳定性和可靠性。
标准名:IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法
标准号:SJ 20636-1997
标准类别:电子行业标准(SJ)
发布日期:1997-06-17
实施日期:1997-10-01
标准状态:现行