相关的检测项目包括:
1. 真空度测量:检测溅射离子泵达到的最终真空度,以确保其性能符合要求。
2. 泵速测试:评价泵的抽气速度,确保其工作效率适合特定应用。
3. 启动时间测试:检测泵从启动到达标的时间,以评估其启动性能。
4. 电气参数检测:包括电压、电流等参数的稳定性和符合性。
5. 结构完整性测试:确保泵体结构无泄漏、无裂痕,能够维持长时间工作。
检测方法包括:
1. 使用真空计进行真空度测量,确保泵的真空性能符合规范要求。
2. 通过流量计或其他测量仪器进行泵速测试,验证泵速是否达到设计要求。
3. 使用定时装置测量从启动到达到稳定状态的时间,评估启动性能。
4. 采用电参数检测设备测试电气性能和稳定性。
5. 进行空气压力测试或氦气泄漏测试,以确认结构完整性。
涉及的产品包括:
《JB/T 4081-1991》标准主要适用于溅射离子泵,这是一种用于产生和维持高真空环境的设备,通常应用于真空技术、电子半导体等领域。
标准名:溅射离子泵 型式与基本参数
标准号:JB/T 4081-1991
标准类别:机械行业标准(JB)
发布日期:1991-07-22
实施日期:1992-07-01
标准状态:现行