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该标准主要适用于各种型号的溅射离子泵。这些泵广泛应用于需要超高真空环境的领域,如科学研究、半导体制造、以及其他高科技产业中的真空系统构建。
通过遵循此标准,可以确保溅射离子泵达到预期的性能要求和质量标准,在实际应用中具有良好的稳定性和可靠性。
标准名:溅射离子泵 技术条件
标准号:JB/T 4082-1991
标准类别:机械行业标准(JB)
发布日期:1991-07-22
实施日期:1992-07-01
标准状态:现行
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