标准中涉及的相关检测项目
根据标准《JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件》,该标准涵盖了诸多检测项目、检测方法和产品类型。以下是标准中相关信息的概要:
检测项目:
- 外观质量检查
- 真空度及抽速测量
- 漏率测试
- 电气性能检测
- 温度稳定性测试
- 机械强度和耐压性测试
检测方法:
- 外观质量检查:通过目视检查以及使用仪器设备(如显微镜)进行详细观察。
- 真空度及抽速测量:使用真空计和抽速测量装置。
- 漏率测试:采用氦质谱检漏仪进行漏率测试,确保系统的密封性。
- 电气性能检测:通过电流、电压测量仪器,检测各项电气指标。
- 温度稳定性测试:在规定环境下长时间运行,检查温度指标的稳定性。
- 机械强度和耐压性测试:使用专用测试设备,检测材料和整体结构在压力下的性能。
涉及产品:
该标准主要适用于各种型号的溅射离子泵。这些泵广泛应用于需要超高真空环境的领域,如科学研究、半导体制造、以及其他高科技产业中的真空系统构建。
通过遵循此标准,可以确保溅射离子泵达到预期的性能要求和质量标准,在实际应用中具有良好的稳定性和可靠性。
JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件的基本信息
标准名:溅射离子泵 技术条件
标准号:JB/T 4082-1991
标准类别:机械行业标准(JB)
发布日期:1991-07-22
实施日期:1992-07-01
标准状态:现行
JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件的简介
JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件的部分内容
现行