标准中涉及的相关检测项目

标准《GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩》中主要规定了电子工业用气体氩（高纯氩）的技术要求、检测项目、检测方法以及涉及的产品范围等内容。以下是详细说明：

检测项目

在标准《GB/T 16945-1997》中提到的主要检测项目包括：

• 纯度：氩气的纯度通常需要达到一定的规格，特别是用于电子工业时需要高纯度。
• 杂质含量：分析氩气中可能存在的杂质成分，包括：
  • 氧气（O₂）
  • 氮气（N₂）
  • 氢气（H₂）
  • 二氧化碳（CO₂）
  • 水分（H₂O）
  • 总碳氢化合物（如甲烷CH₄等碳氢化物）
• 颗粒物：对氩气中是否存在颗粒物进行测定。

检测方法

根据《GB/T 16945-1997》，不同检测项目采用相应的检测方法，包括：

• 气相色谱法：用于检测氩气中的氧气、氮气、甲烷等微量成分。
• 露点仪或湿度计：用于测定水分的含量。
• 红外吸收光谱分析：用于分析二氧化碳的含量。
• 质谱分析：用于高精度追踪氩气中极微量或多种杂质成分。
• 激光颗粒计数器：用于测定氩气中的颗粒物。

涉及产品

本标准主要涉及用于电子工业的高纯氩气（包括超高纯氩气），具体包括：

• 工业电子制造领域：如半导体芯片制程中用作保护气体或稀释气体。
• 高精度焊接：在电子元件焊接过程中作为保护气体。
• 电光源制造：用于生产如荧光灯、放电灯等产品。

以上为《GB/T 16945-1997》中的主要内容摘要，详细情况建议查阅标准全文以获得更权威的解释。

GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩的基本信息

标准名：电子工业用气体 氩

标准号：GB/T 16945-1997

标准类别：国家标准(GB)

发布日期：1997-08-13

实施日期：1998-05-01

标准状态：现行

GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩的简介

本标准规定了电子工业用氩的技术要求、试验方法和包装、标志。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩。GB/T16945-1997电子工业用气体氩GB/T16945-1997

GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩的部分内容

GB/T16945—1997

本标准是根据SEMIC3.46一93《99.9992%质量的散装液氩标准》（95年版）制定的，在技术要求上与之等同，试验方法与之等效。在将SEMIC3.46--93转化为国家标准时，结合我国实际情况，将适用范围扩大至瓶装氩气和管道输送的氩气，删去SEMIC3.46一93中仅作为参考的说明、物理常数及注释等内容，试验方法中增加抽样和氟气纯度两条，除氢、氮含量的测定采用SEMIC3.46一93的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMIC3.46一93的规定进行适当的调整。以上变动与SEMIC3.46一93无实质性差异，使标准的技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位：化学工业部西南化工研究院、上海BOC气体工业有限公司、武钢氧气厂、洛阳单晶硅广。

本标准主要起草人：颜伯举、王少楠。619

中华人民共和国国家标准

电子工业用气体

Gases for electronic industry--Argon本标准规定了电子工业用氟的技术要求、试验方法和包装、标志。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩，GB/T 16945--1997.

电子工业用氩气用于系统的吹扫、保护和增压，它还可用于化学气相淀积、溅射，等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。

分子式:Ar

相对分子质量：39.948（按1991年国际相对原子质量）2引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。氟气

GB/T 4842—1995

电解法

GB/T 5832. 1--86

气体中微量水分的测定

GB/T 5832. 2—86

气体中微量水分的测定

露点法

GB/T6285--86气体中微量氧的测定电化学法GB/T 8984. 1—1997

GB/T 8984.3—1997

GB 141931993

JB/TQ 503--86

JB/T 6897—93

JB/T 6898—93

气相色谱法

气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气体中总烃的测定气相色谱法

液化气体气瓶充装规定

低温液体槽车

低温液体容器

低温液体储运设备使用安全规则电子工业用氟技术要求应符合表1的规定。表1

氮纯度，10-2

氢含量,10-6

氮含量，10-6

氧含量，10*6

一氧化碳和二氧化碳含量，10-6总烃(以甲烷计)含量，10-6

水分含量10-6

国家技术监督局1997-08-13批准620

技术要求

供需双方商定

1998-05-01实施

4试验方法

4.1抽样

GB/T 16945-1997

4.1.1瓶装氩气按表2规定随机抽样检查，并规定批的最大瓶数为100瓶。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则自同批产品中重新加倍抽样检查。若仍有任何一项指标不符合本标准规定时，则判该批产品不合格。

表2抽样表

产品批量，瓶

抽样瓶数，瓶

51~100

管道输送的氩，在4h内至少采样检验一次。当检验结果有任何项指标不符合本标准规定时，则该4h内产品不合格。

液态氟用贮槽或槽车装运时，应从每个贮运容器中采样检验。当检验结果有任何项指标不符合本标准规定时，则判为不合格产品。4.1.2瓶装气态的采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样，不得转移。进样前采用升降压法置换，吹洗瓶阀、针形阀及管道三次。液态氩必须从液相取样并使之完全气化后方能进样。4.2纯度

氟气纯度按式(1)计算求得：

=100（+++++）×10-4

式中：Φ-

氩的纯度，10-2(V/V）；

氢含量，10-6(V/V)；

氮含量，106（V/V）；

氧含量，10-6(V/V)；

氧化碳+二氧化碳含量，10-(V/V)；——总烃(以甲烷计)含量，10-6(V/V)；--—水分含量,10-6(V/V)。

4.3氢和氮含量的测定

4.3.1方法：采用配备氨离子化检测器的气相色谱仪测定氟中氢和氮。4.3.2检测限：氢:0.1×10-6(V/V),氮:0.5×10-6(V/V)。4.3.3仪器参数

·（1)

4.3.3.1色谱柱：将色谱分析用粒度为0.25~~0.40mm的5A分子筛装入内径4mm，长约3m的不锈钢管内，于300℃通氩气活化3h。或采用等效色谱柱。4.3.3.2载气：约30ml./min氢气，氮气中杂质含量比待测组分含量约低-个数量级。4.3.3.3样品体积：1.0至3.0ml。4.3.3.4温度：检测器及柱加热箱均为室温。4.3.3.5标样：含1~5×10-6(V/V)氢的，含5～25×10-6(V/V)氮的氩。4.3.4操作步骤

4.3.4.1用气体进样阀进标样。记录保留时间和峰面积。4.3.4.2用同样方法进待测样品。记录保留时间和峰面积。4.3.4.3重复上述两条，取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果，单个值与平均值的相对偏差不得大于10%。

4.3.4.4比较标样峰和试样峰的平均面积，用式(2)分别计算氢和氮的含量，其结果不得超过本标准第621

3章的规定。

式中：虹—

GB/T 16945--1997

样品气中待测组分i的含量，10-6(V/V)；一标准气中组分i的含量,10-6(V/V)；中

一样品气组分i的峰面积，mm；

A。标样气组分i的峰面积，mm2；一分别代表待测组分氢或氮。

当半峰宽不变时可用峰高定量。4.4氧含量的测定

按GB/T6285执行。

仪器检测限：0.1×10-6(V/V)。标样：氟中含氧1×10~6～5×10-6(V/V）。一氧化碳和二氧化碳含量的测定4.5

按GB/T 8984.1执行。

仪器检测限：0.1×10~6(V/V)。标样：氩中含一氧化碳、二氧化碳1×10-s～2×10-6(V/V）。4.6总烃（以甲烷计)含量的测定按GB/T8984.3执行。

仪器检测限：0.1×10-6(V/V)

标样：中含甲烷1×10-6～2×10-6(V/V)。4.7水分含量的测定

水分的测定按GB/T5832.1或GB/T5832.2执行，两种方法具有同等效力。仪器捡测限：0.2×10-6(V/V），经相应检定规程检定合格。5包装、标志、安全

5.1包装、标志、安全按GB/T4842中纯的第六章执行。·（2)

5.2充灌、储运液态的容器应符合GB14193、JB/TQ503、JB/T6897以及JB/T6898的相关规定。5.3在包装容器上应标以“电子用气一氟”字样。5.4出厂的气瓶瓶阀出口应有包装。622