标准中涉及的相关检测项目

标准《GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮》是一项针对用于电子工业的氮气的国家标准。该标准中涉及的内容包括检测项目、检测方法以及相关的产品。以下是相关内容的详细信息：

标准中规定的主要检测项目主要包括：

• 纯度检测
• 水分含量
• 氧含量
• 其他杂质含量，如二氧化碳等
• 颗粒物含量

为了保证检测的准确性和规范性，标准中对不同项目规定了相应的检测方法，包括但不限于：

• 气相色谱法，用于纯度和杂质的检测。
• 电导率或露点仪法，用于水分的检测。
• 氧化锆法或顺磁酸化法，用于氧含量的测定。
• 颗粒计数器，用于颗粒物的检测。

根据此标准，涉及的产品主要为：

• 工业用高纯氮气
• 电子级氮气

这些产品通常用于电子生产制造过程中，例如半导体制造和其他对气体纯度要求极高的精密电子工业应用。

GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮的基本信息

标准名：电子工业用气体 氮

标准号：GB/T 16944-1997

标准类别：国家标准(GB)

发布日期：1997-08-13

实施日期：1998-05-01

标准状态：现行

GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮的简介

本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。GB/T16944-1997电子工业用气体氮GB/T16944-1997

GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮的部分内容

GH/r169441997

本标准是根据SFMIC3.2892瓶装VI.SI级氮标涨8(1995年版）制定的·在技术要水上与之等向·检验方法与之等效。

准将SEMIC3.28一92转化为不国家标准时.结合我国的实际情况，将标降的适用范围扩人全液态氮和算道输送氮，删去了SEM1（3.28—92中仪作为参.号的物理常数和注释等内容，试验方法中增厂抽性和氮气纯疫两条各项杂质含量的测定、分别采用我网相应的违用试验方法国家标雅，同时对检测限利标样要水按SFMT标避规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异，伙标准的技术内穿更加完整

本标准中中华人民共利国化学工业部提本标准山化学1业部西南化工班究院归口。本标准起草单位：化学工业部西南化「研究院、化京并莱克斯实气体有限公司、本标准主要起常人：何道善。

1范围

中华人民共和国国家标准

电子工业用气体、氮

Gases for eleelrnic industry-NilrogenGB/T16944-: 1997

本标雅划定了电子「用液态和气态氮的技术要求、捡验方法以及包装,标志等,适用于从分离密（或氨还原法制得的氮，在超人规模集成电路制造中用作净化，爱盖、保护，加咔，也用于化学气机淀积时的载气等，

氮气化学叫质不活淡，不叫燃，是-积案息非气体，分「:N.

相对分了质虽：28.0134（按1991年国际期对原了质量）。2 引用标准

下死你举所包命的茶文+通过在本标泄中引用而构成为本标滋的条义。本标准出版时-所示版本均为有效。所有标避部会被修订，使用入标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T3864--1993T业氟

GB7I 5832. 1 86

气休中微量水分的测理电解法

GB/T5832.2--85休中微盘水分的测定选点法体中微量氧的定电化学法

GB/T 6285-86

体中微垦氢的测定

GB/T 8981-88

柜色谐法

G3/T 5984. 1 1997

GH/T 8981.3—1997

3要求

气体中氧化碳、一氧化嵌机烷的测定气科色谱法气体中总烃的测定火焰离子化法电子工业用波态，气态然的技术与应符合表的要求。表工技术招标

微气组度

一征化我含色，1C-1

氢化做含本10-

载含站.10

总经（以甲旁计)分基，10

水分.1，

国家技术监督局1997-08-13批准指

供需效方商定

1998-05-01实施

4试验方法

G1/T 16944—1997

所装蒸气按表2规定随机扯样检验，最人批量100瓶。当检验结果行迁何一项指标不符合本标邪就定时.则自同批产品中重新划倍抽择检验。节奶有低任项指标不符合态标壮规定时.则该批产品不合格

产品低瓶

推样数量，瓶

表2祥表

[G-~25

51--10n

管道输送的氮，在2b内个少采样检测一次。当检验结果有任何-项搭标不符合本标理说定时，则该4b内产品不合格,

波态氮应从每个储运突器中采取液态样品进行检验。当检验结果有仁何一项指标不符合本标准规定时则该产品不合格。

4. 2签纯疫

氨气纯度按式(1)计许求得：

±— 100

轰纯度，10-(F/V)

含量.10-\(V/V):

我含量.10（V/V）；

一$++）×10

-一氧化碳含基,10-(V/V):

-二氧化碳个量,105(V/V);

—总炝(以甲烧计)含量,10-V/V);9.

水含些,10(V/V)

4.3氧合量的测定

按GB/1 6285的规定进行测定。

仪得检测限：0.1×10-(V/W）

标样氮中含氧1×10--~5×10-（V/V）4.4氢含量的测定

按GB/T8981的规定进行测定

仪语检测限:0. 1×10-(V/V)。

标伴：鼠中含氯1×10 +5×1(1-(V/V)。4.5水含基的测楚

按GB3/T5832.1我GB/T5832.2的规定灿行测定。两种方法具有同等效力。仅露检测限：0.2×10(V/V)。仪器应经相成检楚规程检定合格。4.6-氧化碳、一氧化磁含的测定按G/T8984.1—1997的规定选行测定。器检测限：0-1X106(V/V)。

标样：氮中含-氧化碳、二氧化碳午为1×10-~5×10*（V/V)，4.7总烃(以甲烷)含最的测定

接GH/18984.31997的规定恶行测定仪嘉险测限;).1×10 (V/W)~

GB/T16944—1997

标样：氮中含甲烷1×10*~5×[0*（V/V)。5包装、标志、安全

5.1包装、标志，安全按3B/T3864—1996第5章规定执行，在包装容器上以黄色的\地了用气一氮“拦，5.2