检测项目:
检测方法:
涉及产品:
该标准主要适用于检测硅多晶材料的断面夹层的质量,通过化学腐蚀方法提供了准确的检验手段,以确保材料在使用过程中保持其性能和可靠性。
标准名:硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
标准号:GB/T 4061-1983
标准类别:国家标准(GB)
发布日期:1983-01-02
实施日期:1984-01-02
标准状态:现行
本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。GB/T4061-1983硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法GB/T4061-1983
中华人民共和国国家标准
硅多品断面夹层化学腐蚀检验方法Polyaystalline sllcon-Exn miadtiahmethad assesement nf aridwirhex antrst-section by cheinical tomusiueDE
669.7821548
.2:620.193.4
CR 4061--23
产::品格热原编准名出大
「方流原理
1.1原理
用车移的线品源时品可A化实保建大瑞达的美1.2万法
2该样制务
2.1取痒能
原多品成不的站品入度外性年,P
家4向1981220岁
1054-1201店
2.2试样尺号
2.3试样处理
CB4O1-BS
2.8.1将择盛装纯F,-1:4的泥最游训离后尚!正小冲净须察百
检验方法
可肉服迎来啡的要饮!
4光层评定
1却共火层般芯证下的火是
附加说明:
大称人共和待帝业长
八标泄中读半导添材料:资进起草大标准十要起举人划记境。
现行